异物分析，是指分析产品上的微小嵌入异物或表面污染物、析出物进行之成分分析的技术。例如对表面嵌入异物、斑点、油状物、喷霜等异常物质进行定性分析。

常用检测手段有机异物测试方法如傅里叶红外光谱定性分析异物主成分；无机物异物分析手段EDS能谱分析。更小及更浅异物分析手段TOF-SIMS飞行时间二次离子质谱法。

通常适用于电子产品如焊盘表面异物或LCD屏幕表面异物等。